2021-06-15
? 白光共焦技术用于精密测量和3D测量领域
对于光学透镜表面轮廓的测量，常用的测量方法有探针法和白光干涉法。彩色激光位移同轴测量仪，采用白光作为测量介质，白光在特殊的透镜组中会形成色散效应。被测物体的不同深度会反射不同颜色的光，从而测量探头到被测物体表面的距离和位移。
它特别适用于测量全反射面如镜面，因为它不同于激光三角反射传感器，光源垂直于被测物体，反射也垂直于探头，镜面能最大限度地反射光斑。三角形反射传感器更适合于散射表面的测量。
利用光谱共焦传感器测量，可以获得超高分辨率。纳米尺度的分辨率是通过上述特殊处理获得的延长光谱范围得到的。由于探测焦点的颜色是用来获取距离信息的，因此光谱共聚焦传感器可以使用非常小的测量点，从而允许测量非常小的物体。这也意味着即使是被测量表面上最轻微的划痕也无法逃脱光谱共焦传感器的眼睛。
白光干涉法是一种非接触式光学测量方法，它避免了接触式测量方法存在的问题，同时具有较高的测量精度。但是白光共焦法需要图像拼接来获得完整的轮廓，图像拼接会产生误差，因此不适合大体积或阵列分布的透镜轮廓的测量。
光谱共焦传感器具有上述两种测量方法的优点，同时还具有超高的角度特性，测量频率可达2000Hz，具有高精度的测量平台，保证了轮廓数据的水平分辨率，实现了精密测量和三维测量的要求。
